2.無輸出功率
首先在射頻源的輸出接上50Ω的假負載☁•，以此判斷是射頻源問題還是射頻源之後的故障↟☁。若是接上假負載以後功率指示為零☁•，說明射頻源有問題☁•，維修射頻源↟☁。若接上假負載後功率指示不為零☁•，說明射頻源完好☁•，可檢查射頻線纜是否短路•◕│╃、腔體是否汙染等↟☁。
真空問題
等離子清洗機直空系統的好壞☁•，是影響清洗質量的重要因素之一☁•，對真空系統的保養維護主要從以下幾個方面入手:
(1)定時檢查真空度☁•，及時更換各個連線處的密封圈↟☁。例如刻蝕腔體和預真空室隔離門☁•，由於經常開合↟☁。很容易導致密封圈磨損而漏氣☁•，應及時更換↟☁。
(2)定期保養真空泵組☁•，真空泵組由機械泵和分子泵組成↟☁。應經常檢查機械泵和分子泵的油麵是否在廠家標定的最高允許液麵和最低允許液麵之間↟☁。平時多留意機械泵的抽速☁•，一日機械泵抽速變慢☁•，要及時檢查機械泵☁•，否則很容易引起分子泵故障↟☁。
熟練掌握真空等離子清洗機的原理與組成構造☁•，掌握影響等離子清洗工藝的各方面因素☁•，可以極大的縮短裝置故障後的修復時間↟☁。另外☁•，定期對等離子清洗裝置進行保養也是保證裝置穩定的一個重要手段↟☁。
