傳統的電容耦合式等離子清洗機結構◕•▩·•，即內平行極板│·│。系統由三大部分組成包括真空系統╃◕◕│、放電系統和控制系統│·│。
在容性耦合等離子產生裝置下◕•▩·•，電子密度與極板間距成正比例關係◕•▩·•，平均電子溫度與極板間距成反比關係◕•▩·•，其均勻性與極板間距成正比關係即隨著間距的增大均勻性變好│·│。
臥室電容耦合等離子清洗機◕•▩·•，可以直接將工件放在下電極上◕•▩·•，但是研究發現◕•▩·•，等離子體密度最大區域◕•▩·•，是在等離子區域2-8cm之間◕•▩·•，因此可以使用一個高度為3cm的支座◕•▩·•，
支座的放置也便於工件的取放│·│。因為支座要放置在極板上◕•▩·•，極板溫度在放電過程中會持續增高◕•▩·•，所以在支座材料選擇上面選擇了不易氧化的材料│·│。
為了滿足不同工藝的需求◕•▩·•，需要向反應腔體內部充入不同的氣體│·│。
充氣系統由截止閥╃◕◕│、流量控制器╃◕◕│、管路以及各氣體儲存罐組成│·│。
電容耦合式等離子清洗機反應室本身為不鏽鋼管構成◕•▩·•，電容極板位於真空室內◕•▩·•， 因為金屬本身對於輻射具有很好的遮蔽效果◕•▩·•，所以不需要在對裝置設定單獨的遮蔽裝置◕•▩·•，
輻射和干擾都非常小◕•▩·•，不會對控制系統造成干擾│·│。
清洗過程中執行引數包括真空度╃◕◕│、射頻輸出功率╃◕◕│、清洗時間◕•▩·•，等都在觸控式螢幕上顯示◕•▩·•，同時還需要調節氣體流量和混合比例│·│。
