Pluto-MD(8L)小型等離子去膠機

1. 桌面型│↟，普通實驗臺即可安置◕·。操作簡便上手快✘₪✘✘、使用成本極低✘₪✘✘、易於維護◕·。1

2.適合於4~6寸矽片及相同面積去膠│↟，可選配矽片專用托盤◕·。

3.內建雙層氣浴電極│↟，有效提高畫質洗效率◕·。配有節流閥│↟，防止真空泵油霧迴流◕·。可選配耐用電極│↟，降低長時間使用後的腔體汙染◕·。

4.配置200W/13.56MHz等離子發生器◕·。兼顧物理作用和化學作用◕·。

5.具備前後吹掃功能│↟，保證樣品處理潔淨度│↟，可配置獨立吹掃氣路◕·。

6.可選配電極間距可調│↟，對各種幾何形狀✘₪✘✘、表面粗糙程度各異的金屬✘₪✘✘、陶瓷✘₪✘✘、玻璃✘₪✘✘、矽片✘₪✘✘、塑膠等物件表面進行超清洗和表面改性◕·。