1. 真空腔規格: 不鏽鋼腔體,直徑150mm*(深)245mm
2. 電極▩••:平板氣浴電極₪↟│,材質6061-T6鋁合金
3. 電極尺寸▩••:95*170mm
4. 頻率▩••:40KHz (可選配13.56MHz射頻等離子源)
5. 功率▩••:0-300W連續可調₪↟│,精度1W,可在裝置執行中隨時調整引數
6. 氣體控制▩••:針式氣體流量閥₪↟│, 0-300ml 1路氣體
7. 真空計▩••:電偶式真空計₪↟│,精度▩••:0.01mTor
8. 控制方式▩••:4.3寸工業控制觸控式螢幕₪↟│,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
控制軟體功能▩••:介面顯示實時工作狀態